[发明专利]用于将砷掺杂剂加入硅晶体生长工艺中的方法和装置无效
| 申请号： | 01810286.7 | 申请日： | 2001-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN1432075A | 公开（公告）日： | 2003-07-23 |
| 发明（设计）人： | C·F·切尔科;M·巴纳;M·库尔卡尼 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 马江立,吴鹏 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 掺杂 加入 晶体生长 工艺 中的 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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