[发明专利]用于深紫外线的光刻胶组合物及其方法无效
| 申请号： | 01812974.9 | 申请日： | 2001-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN1443315A | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉曼;M·帕德马纳本;R·R·戴米尔 | 申请（专利权）人： | 科莱恩金融(BVI)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 英属维尔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 深紫 外线 光刻 组合 及其 方法 | ||
【说明书】：
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