[发明专利]微电子压电结构无效
| 申请号： | 01813280.4 | 申请日： | 2001-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN1511350A | 公开（公告）日： | 2004-07-07 |
| 发明（设计）人： | 拉马默西·拉麦士;王玉;詹福瑞·M·芬德;库特·艾森比萨;于志毅;拉文卓诺斯·卓柏德 | 申请（专利权）人： | 摩托罗拉公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/08;C30B25/18;C30B29/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微电子 压电 结构 | ||
【说明书】：
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