[发明专利]压印制版用的透明模板与衬底之间间隙和取向的高精度控测方法无效
| 申请号： | 01815367.4 | 申请日： | 2001-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN1454333A | 公开（公告）日： | 2003-11-05 |
| 发明（设计）人： | T·百利;B·J·周;M·科尔博恩;S·V·斯瑞尼瓦萨恩;C·G·威尔森;J·埃克德特 | 申请（专利权）人： | 得克萨斯州大学系统董事会 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 张政权 |
| 地址： | 美国得克*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压印 制版 透明 模板 衬底 之间 间隙 取向 高精度 方法 | ||
【说明书】：
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