[发明专利]基本上没有氧化诱生堆垛层错的掺氮硅无效
申请号: | 01815935.4 | 申请日: | 2001-08-30 |
公开(公告)号: | CN1461360A | 公开(公告)日: | 2003-12-10 |
发明(设计)人: | H·哈加;T·奥希马;M·巴纳 | 申请(专利权)人: | MEMC电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 于静;李峥 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基本上 没有 氧化 堆垛 掺氮硅 | ||
【权利要求书】:
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