[发明专利]氧化物材料、氧化物薄膜的制造方法以及使用该材料的元件无效
| 申请号： | 01817413.2 | 申请日： | 2001-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1469842A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 木岛健;石原宏 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社;东京工业大学校长代表的日本国 |
| 主分类号： | C01B13/14 | 分类号： | C01B13/14;C01G29/00;H01L27/10;H01L21/316 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化物 材料 薄膜 制造 方法 以及 使用 元件 | ||
【说明书】：
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