[发明专利]湿法刻蚀方法无效
| 申请号： | 01817645.3 | 申请日： | 2001-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1469939A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 比加尼·比加纳森;佩·比德森 | 申请（专利权）人： | 奥博杜卡特股份公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C25F3/14;//H05K3/06;H05K3/07 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 湿法 刻蚀 方法 | ||
【说明书】：
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