[发明专利]控制作为抛光头和半导体衬底之间的重叠面积的函数的抛光压力的抛光设备和方法无效
| 申请号： | 01817778.6 | 申请日： | 2001-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN1655906A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | M·A·萨尔达纳;D·V·威廉斯 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B49/16;G05D15/01 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京;黄力行 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制 作为 抛光 半导体 衬底 之间 重叠 面积 函数 压力 设备 方法 | ||
【权利要求书】：
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