[发明专利]表面粒子检测器有效
| 申请号： | 01818705.6 | 申请日： | 2001-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN1531646A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | D·G·卢茨;D·杜甘 | 申请（专利权）人： | 五角技术集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/00 | 分类号： | G01N15/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 粒子 检测器 | ||
【权利要求书】：
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