[发明专利]带有加压隔膜的研磨固定台无效
| 申请号： | 01821071.6 | 申请日： | 2001-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1481295A | 公开（公告）日： | 2004-03-10 |
| 发明（设计）人： | 罗德·基斯特勒;约翰·博伊德;阿列克·奥夫恰兹 | 申请（专利权）人： | 拉姆研究公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B21/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 加压 隔膜 研磨 固定 | ||
【说明书】：
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