[发明专利]半导体装置及其制造方法以及半导体制造装置无效
| 申请号： | 01821330.8 | 申请日： | 2001-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN1483208A | 公开（公告）日： | 2004-03-17 |
| 发明（设计）人： | 京極敏彦;神津正;望月清春;石津昭夫;小林义彦;佐藤勧;菊池荣;丸山昌志;神代岩道 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所;株式会社东日本半导体技术;秋田电子系统株式会社 |
| 主分类号： | H01F17/02 | 分类号： | H01F17/02;H01F41/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 及其 制造 方法 以及 | ||
【说明书】：
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