[发明专利]微结构的制造方法有效
| 申请号： | 01821809.1 | 申请日： | 2001-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1527960A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 马克思·史密特 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G11B5/127;H01L21/033 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微结构 制造 方法 | ||
【说明书】：
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