[发明专利]射频离子源无效
申请号: | 01822146.7 | 申请日: | 2001-11-21 |
公开(公告)号: | CN1529898A | 公开(公告)日: | 2004-09-15 |
发明(设计)人: | M·L·朗福德;S·N·凯恩斯;A·J·马;I·B·普利桑茨 | 申请(专利权)人: | 英国国防部 |
主分类号: | H01J27/16 | 分类号: | H01J27/16 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王岳;梁永 |
地址: | 英国威*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射频 离子源 | ||
【权利要求书】:
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