[发明专利]用于离子注入的混合扫描系统及方法无效
| 申请号： | 01822153.X | 申请日： | 2001-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1500284A | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | 唐纳德·W·伯里安;约翰·D·波洛克;约翰·W·范德波特 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备联合公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 混合 扫描 系统 方法 | ||
【说明书】：
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