[发明专利]用于等离子工艺的电极以及制造和使用此电极的方法有效
| 申请号： | 01822280.3 | 申请日： | 2001-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN1488161A | 公开（公告）日： | 2004-04-07 |
| 发明（设计）人： | 杰尔姆·S·胡贝赛克;艾尔伯特·R·埃林柏;大卫·本辛 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 等离子 工艺 电极 以及 制造 使用 方法 | ||
【说明书】：
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