[发明专利]喷嘴装置及具备该喷嘴装置的基板处理装置无效
| 申请号： | 01823874.2 | 申请日： | 2001-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1582202A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 赤坂丈士;水川茂;村田贵;中田胜利;松元俊二 | 申请（专利权）人： | 住友精密工业株式会社 |
| 主分类号： | B05B1/14 | 分类号： | B05B1/14;B05C5/00;B05C11/08;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 沙捷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷嘴 装置 具备 处理 | ||
【说明书】：
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