[发明专利]消除由化学收缩辅助清晰度提高的平印工艺中轮廓失真的方法有效
| 申请号： | 02101889.8 | 申请日： | 2002-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN1432876A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | 许伟华;林顺利 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省新竹科 *** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 消除 化学 收缩 辅助 清晰度 提高 工艺 轮廓 失真 方法 | ||
【权利要求书】：
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