[发明专利]用于清洁丝焊设备中的毛细管的清洁器无效

专利信息
申请号: 02102399.9 申请日: 2002-01-24
公开(公告)号: CN1367063A 公开(公告)日: 2002-09-04
发明(设计)人: 锹田耕司;有田光喜 申请(专利权)人: 日本电气株式会社
主分类号: B23K37/00 分类号: B23K37/00;H01L21/60
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 穆德骏,方挺
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 清洁 设备 中的 毛细管
【说明书】:

发明领域

本发明涉及用于清洁在丝焊设备中的毛细管的清洁器,更具体地说,涉及具有简单结构的清洁器,用于对用于引导焊丝穿过的毛细管进行清洁。

本发明还涉及清洁这种毛细管的方法。

相关技术的描述

在半导体器件(IC)的制造工艺中,为了将半导体芯片的电极焊盘和安装在半导体芯片上的引线框的引线电连接到一起,要使用丝焊设备。在焊接步骤中,为了焊接,用诸如楔形工具(或称劈刀)或毛细管之类的焊接工具来引导金属丝,以将金属丝压到引线框和电极焊盘上。

例如,在丝焊设备焊接几十万次至百万次之后,从金属丝的表面分离或淀积在金属丝表面上的一些杂质或外来材料附着到焊接设备的部件例如毛细管上。如果在外来材料附着的情况下使用毛细管,毛细管对金属丝的摩擦阻力增加,从而产生误动作,有时穿过毛细管的顶端的金属丝的长度变化很大。

日本专利公开JP-A-8-264584描述了一种消除了上述误动作的焊接设备。图1显示了所描述的焊接设备,它包含一对可相对于支撑轨道11移动的悬臂12和楔形工具13,楔形工具13相对于焊接悬臂12的延伸方向延伸。利用形成在楔形工具13的底部上的引导槽13a,在焊接悬臂12的轴向上,引导延伸穿过形成在焊接悬臂12中的引导孔12a的金属丝15的顶端。焊接设备在接着将由引导槽13a引导的金属丝15压到芯片17和引线框10上的同时,将支撑轨道11上的半导体芯片17和引线框10连接到一起。

焊接设备包含滑动部件19,从焊接悬臂12的轴向看,滑动部件19具有与引导槽13a对准的突出物19a。在重复焊接操作过程中,如果楔形工具的顶端、特别是引导槽13a附着有外来材料,焊接操作停止并且金属丝15从引导槽13a拉回之后,楔形工具的顶端移向并且与滑动部件29的突出物29a接触。此后,为了清洁引导槽13a,楔形工具13相对于滑动部件29相互移动。

在上面的公开中所描述的焊接设备中,尽管楔形工具的结构简单,但楔形工具不适合软金属丝,如金丝。

日本实用新型公开JP-A-61-144644描述了图2所示的另一个丝焊设备。焊接设备包含一对用于引导引线框的支撑轨道21、设置在支撑轨道21附近的X-Y平台22和安装在X-Y平台22上并且其上具有焊接悬臂25的设备体26,在焊接悬臂25的顶端支撑毛细管23。在支撑轨道21的附近设置清洁池27,用于清洁毛细管23。在清洁毛细管23的操作过程中,X-Y平台23将毛细管23移向清洁池27。

在具有毛细管23的焊接设备中,从丝卷筒29供应用于焊接的金属丝30,并穿过毛细管23。进行一定的焊接操作之后,从毛细管23拉出金属丝30,X-Y平台22将焊接悬臂25移向清洁池27。然后将毛细管23浸入清洁池27中的清洁液,利用超声波振动毛细管23以进行清洁。

在JP-A-61-144644所介绍的焊接设备中,由清洁液和超声波实现的清洁步骤不足以清洁具有小直径的毛细管。尤其是,例如,如果此焊接设备用于精细间距的球焊技术,那么在不使用清洁碱化合物的情况下则不能有效地除去外来材料,而碱化合物不适于半导体器件的制造工艺。另外,清洁池27有时妨碍焊接悬臂25移动方向上的顺畅的焊接操作。

发明概述

鉴于传统技术中的上述问题,本发明的目的是提供一种简单的清洁器和简单的方法,都能有效地清洁用于丝焊设备中的毛细管。

本发明提供了一种用于清洁丝焊设备中的毛细管的清洁器,此清洁器包含:将插入毛细管的清洁丝;用于装清洁液的清洁池;和当毛细管的顶端浸入清洁液、清洁丝至少插入毛细管的顶端时,用于给毛细管施加超声波的超声波发生器。

本发明还提供了一种用于清洁用在丝焊设备中的毛细管的方法,此方法包含步骤:当毛细管的顶端部分浸入清洁液,清洁丝至少插入毛细管的顶端部分时,给毛细管施加超声波。

根据本发明的清洁器和方法,清洁丝和清洁液结合超声波有效地从毛细管上除去了外来材料,而不用从焊接悬臂上拆下毛细管。

通过下面参考附图的说明,本发明的上述和其它目的、特征和优点将变得更明了。

附图的简要说明

图1是传统的丝焊设备的剖视图。

图2是另一个传统的丝焊设备的俯视平面图。

图3是由根据本发明实施例的清洁器清洁的丝焊设备的透视图。

图4是组合有清洁器的图3的丝焊设备的透视图。

图5是毛细管的工作流程和根据本发明的实施例的清洁毛细管的工艺。

图6是在研磨毛细管顶端过程中,图3所示的毛细管的透视图。

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