[发明专利]沉积装置和沉积方法

权利要求书

1.一种沉积装置，该装置包括：

多个沉积室；和

在所述沉积室中的多个蒸发源；

其中多个蒸发源中的每一个包括至少一种有不同功能的有机化合物，和

其中具有不同功能的有机化合物是通过从所述多个蒸发源的真空蒸发而连续沉积的。

2.根据权利要求1的沉积装置，其中该沉积装置包括：

形成第1有机化合物层的第1沉积室，

形成第2有机化合物层的第2沉积室，

形成第3有机化合物层的第3沉积室。

3.根据权利要求2的沉积装置，其中：

所述第1有机化合物层发射红光，

所述第2有机化合物层发射绿光，和

所述第3有机化合物层发射蓝光。

4.根据权利要求1的沉积装置，其中每个所述蒸发源有一种有机化合物，该有机化合物从一组包括空穴注入能力、空穴输运能力、发光能力、阻挡能力、电子输运能力、或电子注入能力中选择。

5.一种沉积装置，该装置包括：

多个沉积室；和

多个在所述沉积室中的蒸发源；

其中多个蒸发源中的每一个包括至少一种具有不同功能的有机化合物，和

其中具有不同功能的有机化合物中的至少二种有机化合物是由所述的多个蒸发源的真空蒸发被同时沉积的。

6.根据权利要求5的沉积装置，其中该沉积装置包括：

形成第1有机化合物层的第1沉积室，

形成第2有机化合物层的第2沉积室，和

形成第3有机化合物层的第3沉积室。

7.根据权利要求6的沉积室，其中：

所述第1有机化合物层发射红光，

所述第2有机化合物层发射绿光，和

所述第3有机化合物层发射蓝光。

8.根据权利要求5的沉积装置，其中每个所述的蒸发源具有一种有机化合物，该有机化合物从一组包括空穴注入能力、空穴输运能力、发光能力、阻挡能力、电子输运能力、或电子注入能力中选择。

9.一种沉积装置，该装置包括：

装料室；

具有在金属掩蔽板和衬底之间进行位置对准功能的定线室；

沉积室；和

在所述沉积室内的多个蒸发源；

其中装料室、定线室、和沉积室相互串接：

其中多个蒸发源中的每一个包括至少一种具有不同功能的有机化合物；和

其中具有不同功能的有机化合物是由所述多个蒸发源的真空蒸发被连续沉积的。

10.根据权利要求9的沉积装置，其中沉积装置包括：

形成第1有机化合物层的第1沉积室，

形成第2有机化合物层的第2沉积室，和

形成第3有机化合物层的第3沉积室。

11.根据权利要求10的沉积室，其中：

所述第1有机化合物层发射红光，

所述第2有机化合物层发射绿光，和

所述第3有机化合物层发射蓝光。

12.根据权利要求9的沉积装置，其中每个所述蒸发源具有一种有机化合物，该有机化合物从一组包括空穴注入能力、空穴输运能力、发光能力、阻挡能力、电子输运能力、或电子注入能力中选择。

13.一种沉积装置，该装置包括：

装料室；

具有在金属掩蔽板和衬底之间进行位置对准功能的定线室；

沉积室；和

在所述沉积室内的多个蒸发源；

其中装料室、定线室、和沉积室相互串接：

其中多个蒸发源中的每一个包括至少一种具有不同功能的有机化合物，和

其中具有不同功能的有机化合物中的至少两种是由所述多个蒸发源的真空蒸发同时被沉积的。

14.根据权利要求13的沉积装置，其中该沉积装置包括：

形成第1有机化合物层的第1沉积室，

形成第2有机化合物层的第2沉积室，和

形成第3有机化合物层的第3沉积室。

15.根据权利要求14的沉积装置，其中：

所述第1有机化合物层发射红光，

所述第2有机化合物层发射绿光，

所述第3有机化合物层发射蓝光。