[发明专利]精制显影液制造装置及精制显影液制造方法

权利要求书

1.一种精制显影液制造装置，通过管路连接到形成进行了精细加工的电子电路的加工设备上，制造该加工设备中使用的碱系显影液，其特征在于该装置备有：

供给且搅拌显影原液和纯水，调制上述碱系显影液的调制槽；

测定上述调制槽内的上述碱系显影液的碱浓度的第一碱浓度测定装置；

根据上述第一碱浓度测定装置的测定值，调整供给上述调制槽的上述显影原液的供给量及上述纯水的供给量这两者中的至少一者的液供给控制装置；

被供应来自上述调制槽的碱系显影液，且使该碱系显影液的碱浓度正常化的正常化槽；以及

将上述碱系显影液从上述调制槽供给上述正常化槽，调整该调制槽中的该碱系显影液的液面高度以及该正常化槽中的该碱系显影液的液面高度的液供给·液面高度控制装置。

2.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：

上述液供给·液面高度控制装置是能从上述调制槽向上述正常化槽自然地输送上述碱系显影液，且具有连接该调制槽及该正常化槽的连通管的装置。

3.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：上述正常化槽备有测定该正常化槽内的上述碱系显影液的碱浓度的第二碱浓度测定装置。

4.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：上述正常化槽备有搅拌该正常化槽内的上述碱系显影液的搅拌机构。

5.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：上述正常化槽备有过滤该正常化槽内的上述碱系显影液的过滤机构。

6.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：备有将上述正常化槽内的上述碱系显影液循环供给上述调制槽的循环供给用管路。

7.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：备有设置在上述正常化槽和上述加工设备之间、储存上述碱系显影液的储存槽。

8.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：具有多个上述调制槽。

9.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：上述调制槽和上述正常化槽构成一体。

10.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：备有利用潮湿的氮气密封上述调制槽和上述正常化槽的潮湿氮气密封装置。

11.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：备有将上述碱系显影液中含有的溶解气体除去的溶解气体除去装置。

12.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：备有测定处于供给上述加工设备之前的状态下的上述碱系显影液中含有的微粒子数的微粒子数测定装置。

13.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：上述第一碱浓度测定装置是电导率计、超声波浓度计、液体密度计及自动滴定装置中的至少一种。

14.根据权利要求1所述的精制显影液制造装置，其特征在于：上述第二碱浓度测定装置是电导率计、超声波浓度计、液体密度计及自动滴定装置中的至少一种。

15.一种精制显影液制造方法，用来制造在形成进行了精细加工的电子电路的加工工序中通过管路供给的碱系显影液，其特征在于包括：

搅拌显影原液和纯水，调制上述碱系显影液的工序；

测定上述碱系显影液的碱浓度的测定工序；

根据上述碱系显影液的碱浓度的测定值，调整向调制上述碱系显影液的工序供给的上述显影原液的供给量及上述纯水的供给量这两者中的至少一者的工序；

使在调整上述碱系显影液的工序中获得的碱系显影液的碱浓度正常化的工序；以及

对调整上述碱系显影液的工序中的碱系显影液的液面高度、以及对使上述碱系显影液正常化的工序中的碱系显影液的液面高度进行调整的工序。