[发明专利]一种用于铜制程的化学机械研磨液组合物无效
| 申请号： | 02105024.4 | 申请日： | 2002-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN1438290A | 公开（公告）日： | 2003-08-27 |
| 发明（设计）人： | 陈丽梅;闵俊国;王朝仁;蔡庆龙 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨淑媛,黄韧敏 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 铜制 化学 机械 研磨 组合 | ||
【说明书】：
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