[发明专利]喷溅靶及其制造方法无效
| 申请号： | 02105095.3 | 申请日： | 2002-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN1382828A | 公开（公告）日： | 2002-12-04 |
| 发明（设计）人： | 尾野直纪;林博光 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊,程伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷溅 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种喷溅靶，其特征在于，在具有a边和b边、形状比是a∶b的矩形靶中，是a＜b，在喷溅面和冷却面中的至少喷溅面上具有沿大致垂直于所述b边方向排列的研磨痕。
2.如权利要求1所述的喷溅靶，其特征在于，所述研磨面的表面粗糙度Ra在2μm以下。
3.一种喷溅靶的制造方法，其特征在于，在具有a边和b边、形状比是a∶b的矩形靶的制造方法中，在a＜b时，具备将喷溅面和冷却面中的至少喷溅面沿大致垂直于所述b边的方向进行研磨加工的工序。
4.如权利要求3所述的喷溅靶的制造方法，其特征在于，所述研磨面的表面粗糙度Ra在2μm以下。
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