[发明专利]残余聚合物去除剂及其使用方法无效
| 申请号： | 02105270.0 | 申请日： | 2002-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1441319A | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | 吴敬斌;李宏文;洪宗裕;连楠梓 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/42;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫,潘培坤 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 残余 聚合物 去除 及其 使用方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旺宏电子股份有限公司，未经旺宏电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/02105270.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种钓鱼器具
- 下一篇：用无齿轮孔长卷胶片的多镜头立体照相机
