[发明专利]部件固定头、使用该固定头的部件安装装置及安装方法

说明书

发明领域

本发明涉及一个部件固定头，一个使用固定头的部件安装装置和一个安装部件的方法。特别地，该装置适合于真空固定和运送一个电子部件如IC(集成电路)，并且将其安装在玻璃液晶之类的基板上的技术。

背景技术

近几年来，电子设备的研究与发展尤为迅速，与使用Internet的信息技术相结合(下文中称IT)，各种产品层出不穷，特别是，关于半导体技术的研究和发展已经迈向了趋于开发紧凑、小巧、轻便之类的电子设备。同时也趋向于增加带有计算机的通讯设备的移动性。

在家用电视接收器领域，液晶板制造技术的进步导致了精确而细致的大的纯平显示器部分代替传统彩色显像管的接收装置。图1是液晶显示装置制造过程实例的部分简略图。

如图1显示，许多玻璃基板2，例如液晶基板，被放在隔板架(书架)1中，其上以阵列形式固定有TFTs(薄板晶体管)。这些玻璃基板2由带有刻度的挑选机械手3一次一个的拾取，在x轴和y轴上移动并且放在中继平台4上。放置到中继平台4上的基板2由第一流线性传输型的基板运输器5运输到与连接部件附加装置6上。

图2是一个基板2的放大的斜视图。如图2所示，电极导线2a在基板2外围的边缘部分线性排列，各向异性传导薄膜(ACF，未示出)连接部件由连接部件附属装置6附着到已传送到连接附属装置6上的基板2的电极导线2a上。

回到图1，基板2在经过连接构件的连接部件附属装置6粘附到电极导线2a上后，由第二个线形传输型基板传送器7传送到部件安装装置8。在部件安装装置8，类似磁带载体盒(TCPs)的电子部件放到连接构件上，之后通过热压完成连接和安装。

图3是一个在图2中显示的电子部件9的从底部向上看的斜视图。如图3显示，芯片部件92，如IC被连接和安装到电子部件9的透明薄膜构件91下表面，大量导线91a被连接并排列布置，使每一个导线91a在薄膜构件91的端部对着芯片部件92的电极。

定位标记91b，91b以成对的形式沿着薄膜构件91的边缘在薄膜构件91边缘部分的两外侧形成，使导线91a夹在一对定位标记之间。如图2显示，定位标记2b与将要安装电子部件9的基板2上的定位标记91b相对应。

回到图1，在电子部件9通过一个在部件固定装置8的固定头产生的真空吸力固定的情况下，一个成像设备将电子部件9的定位标记91b与基板2的定位标记2b成像。每对相互对应的标记都要基于成像数据校正位置，以使在电子部件9的定位标记91b和基板2的定位标记2b之间的位置偏移为零的情况下，在电子部件9在基板2上面规定的位置上，通过一个带有内置加热器的部件固定头进行热压，用于将电子部件9安装到基板2上。

作为电子部件9的基础材料的薄膜构件91是由聚酰亚胺树脂制成的，在薄膜构件91上，导线91a和定位标记91b是由铜金属片或镀金的铜金属片制成。然而，聚酰亚胺树脂这种基础材料具有绿、紫、橙三种颜色，所以可能获得一个由铜金属片或镀金铜金属片制成的定位标记91b及其类似物与薄膜构件91之间的很小的色度差。

因为在定位标记91b和基础材料之间的色度差别很小。如果成像设备使用反射光成像定位标记91b时，只能在定位标记91b和基础材料之间产生不充分的对比(强度比)。基于以上原因，许多部件固定装置的成像设备使光线从反面照到定位标记上并穿过在电子部件9的边缘部分形成了电子部件9边缘部分的图像。

图4是部件固定装置8的前正视图，也是图1所指的部件固定装置8，在该装置中，传播光用于形成电子装置9端部的图像。如图4所示，在这个部件固定装置8中，部件固定头81借助于活塞缸82的驱动臂82a固定到传送臂83上，部件固定头81依靠真空吸力吸附并运送电子部件9，传送臂83由在x和y轴方向运动的机器人形成。

玻璃基板2放在位于部件固定头81下面的基板放置台84上，基板放置台84设计成能够在水平面的旋转移动。

在电子部件9放置到平台85上之后，被真空吸力吸附到部件固定头81上并运送到基板2的边缘部，基板2的上部有一个内置微处理器的控制器86控制电子部件9和基板2的相对位置。

形成电子部件9和基板2边缘部图像的成像设备87经过调整并固定在基板2和部件固定头81上方。