[发明专利]双向谐波耗散系统

权利要求书

1.一种用于射频发生器系统的双向谐波耗散滤波器，所述系统用于在能够在预定频率范围内提供射频信号的功率源和负载之间耦合，所述滤波器包括：

输入端子，耦合在预定频率范围内提供射频信号的功率源上，；

输出端子，耦合所述负载，用于在预定频率范围向所述负载提供射频信号；

具有输入和输出的低通滤波器，低通滤波器连接在输入端子和输出端子之间；并且

多个耦合到低通滤波器的高通滤波器，其中多个高通滤波器耗散超过预定频率范围的信号，并且多个高通滤波器具有预定的选自包含电容和电感的组中的电路效应，所述效应通过低通滤波器在输入和输出被抵消。

2.如权利要求1中的滤波器，其中多个高通滤波器包括第一高通滤波器和第二高通滤波器，第一高通滤波器连接到所述输入端子和低通滤波器输入之间的连接点上，并且第二高通滤波器连接到低通滤波器输出和所述输出端子之间的连接点上。

3.如权利要求1中的滤波器，其中功率源包括RF功率放大器。

4.如权利要求1中的滤波器，其中负载包括等离子体室。

5.如权利要求4中的滤波器，其中输出端子通过阻抗匹配网络被耦合到等离子体室。

6.如权利要求1中的滤波器，其中预定的频率范围是大约13.56MHz的±5％。

7.如权利要求1中的滤波器，其中低通滤波器包括切比雪夫结构。

8.如权利要求1中的滤波器，其中低通滤波器包括椭圆结构。

9.如权利要求1中的滤波器，其中低通滤波器包括并联输入和输出电容值。

10.如权利要求1中的滤波器，其中低通滤波器包括串联输入和输出电感值。

11.如权利要求1中的滤波器，其中高通滤波器包括大约50欧姆的相关电阻值。

12.如权利要求1中的滤波器，其中所述多个高通滤波器包括切比雪夫或椭圆结构中的一个。

13.如权利要求1中的滤波器，其中高通滤波器具有大约500瓦的功率耗散容量。

14.如权利要求1中的滤波器，其中在预定频率范围内所述多个高通滤波器的每个具有预定电容值的电容输入。

15.如权利要求1中的滤波器，其中在预定频率范围内所述多个高通滤波器具有预定电感值的电感输入。

16.如权利要求1中的滤波器，其中高通滤波器包括第五阶0.1dB通频带波纹，-22dBc最低抑制切比雪夫结构。

17.一种双向谐波耗散滤波器，用于频率灵巧RF发生器系统，所述系统具有用于激励负载的RF功率放大器和RF发生器，所述系统包括用于在预定频率范围内提供射频信号的RF功率放大器，所述滤波器包括：

输入端子，耦合到RF功率放大器用于接收在所述预定频率范围内的所述射频信号；

输出端子，用于在预定频率范围内通过阻抗匹配网络向负载提供射频信号；

低通滤波器，具有一个输入和一个输出，一个输入阻抗和一个输出阻抗，该低通滤波器连接在输入端子和输出端子之间；

高通滤波器，耦合到低通滤波器输出，其中高通滤波器接收并耗散超出预定频率的从负载反射的谐波信号，并且其中高通滤波器对在低通滤波器输出的阻抗具有预定的电路效应，该效应选自包括电容和电感的组中，且该效应通过低通滤波器在输出被抵消；

滤波器装置，用于管理由RF功率放大器产生的谐波信号，该滤波器装置耦合到低通滤波器的输入，其中该滤波器装置补偿低通滤波器的输入阻抗。

18.如权利要求17的滤波器，其中高通滤波器连接在所述低通滤波器输出和所述输出端子之间的连接点上。

19.如权利要求17的滤波器，其中高通滤波器包括第一高通滤波器且滤波器装置包括连接在所述输入端子和低通滤波器输入之间的连接点上的第二高通滤波器。

20.如权利要求17的滤波器，其中滤波器装置包括位于RF功率放大器的双工器。

21.如权利要求17的滤波器，其中滤波器装置包括位于RF功率放大器的级联滤波器。