[发明专利]适用于不同控制接口的便携装置

说明书

技术领域

本发明涉及功率发生装置，特别是用于功率发生装置的通信接口。

背景技术

在等离子体应用中，多年来一直存在原材料处理过程，如等离子体沉积和喷涂。这些过程一般使用一个功率发生器来提供一个RF或高压DC电源信号，该信号连接到等离子体腔。常规的功率发生器通常包括一个用于内外部件之间传输信号的定制数据通信系统。参照图1，图中显示了一个常规的功率发生器10a，它有一个定制数据通信系统。该数据通信系统一般使用模拟/数字混合信号在系统部件间进行内部通信，使用一个定制接口12在功率发生器和用户间进行通信。

参照图2，图中显示了用于一个功率发生器10b和用户间通信的另一种通信链路结构，它包括多产品(multiproduct)结构，其中功率发生器10b具有一个定制接口14和一个单独的多产品接口16。定制接口14支持用户与功率发生器10b之间的通信，而多产品接口16支持功率发生器10b和多种不同产品之间的通信。多产品结构通常包含一个控制系统17，用于协调经由定制接口14和多产品接口16的通信。

参照图3，图中显示了用于一个功率发生器10c的第三种常规通信链路结构。该通信链路在一个定制多处理器控制系统18中包含一个协处理器，以便加强对经由定制接口20的通信的控制。该协处理器协调来自功率发生器经由定制接口20的信息流。

这些结构都有几个共同的缺点，包括：难以对接口进行升级和维护，用户的接口选择减少，制造和维护多种定制类型的发生器以支持不同接口标准的成本较高。发明内容

本发明提供一种用于等离子体功率发生器的通信接口系统及方法。该通信接口系统包含一个功率发生器部件，该部件有一个标准POD接口，用于传送遵从第一协议的信息。在该标准POD接口和一个第二通信接口之间连接一个便携装置，用于在两者之间传送信息。第二通信接口传送采用遵从第二协议的一种格式的信息。该便携装置与标准POD接口和第二通信接口是可以分离的。第一通信链路连接标准POD接口和便携装置，第二通信链路连接便携装置和第二通信接口。

从下文的详细描述中，将更明显地看到本发明可适用于更多领域。应该理解在说明本发明的优选例时，那些详细描述和特定示例，只是为了举例说明而并不限制本发明的适用范围。

附图说明

从详细描述和附图中，将更充分地了解本发明，其中：

图1是第一种常规功率发生器通信链路结构的方框图；

图2是第二种常规功率发生器通信链路结构的方框图；

图3是第三种常规功率发生器通信链路结构的方框图；

图4是按照本发明所述的便携装置通信链路的第一实施例的方框图；

图5是按照本发明所述的便携装置通信链路的第二实施例的方框图；

图6是按照本发明所述的便携装置通信链路的第三实施例的方框图。

具体实施方式

以下对优选例的描述实际上只是说明性的，并不限制本发明的应用或使用。

参照图4，图中示出了按照本发明的原理，与一个通信接口系统32互连的一个功率发生器30的一个优选例的方框图。虽然这种通信接口系统更适用于与功率发生器连接，但本发明的范围还包括与除功率发生器外的其他供电系统组件的连接，如匹配网络、V/I探测器、输出传感器、功率放大器等。通信接口系统32包含一个定制接口POD 34，定制接口POD 34在一个标准POD接口36和一个定制接口(图中未示出)之间、经由一对通信链路38和40连接。定制接口POD 34是无限多种接口POD中的一种，这些接口POD用于促进功率发生器与另一个接口之间的通信，其中功率发生器具有普通接口协议，如标准POD接口协议，另一个接口则是基于一种不同的通信协议，如AnyBus、Ethernet、Devicenet以及Analog Interface。