[发明专利]模块式流体输送装置无效
申请号: | 02106830.5 | 申请日: | 2002-03-05 |
公开(公告)号: | CN1374474A | 公开(公告)日: | 2002-10-16 |
发明(设计)人: | 南·V·恩古云 | 申请(专利权)人: | ASML美国公司 |
主分类号: | F16L41/00 | 分类号: | F16L41/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 范莉 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模块 流体 输送 装置 | ||
1.一种用于将流体输送给一个或多个流体处理部件的流体输送装置,所述装置包括:
一个上部模块,该上部模块包括一个上部通道,该上部模块与流体处理部件连接,这样,该上部通道与流体处理部件流体连通;
一个下部模块,该下部模块包括一个下部通道,该下部模块与上部模块连接,这样,该下部通道与上部通道流体连通;以及
一基座块,该基座块包括一个容器和一个通路,该上部模块装于该容器内,该下部模块穿过该通路。
2.根据权利要求1所述的流体输送装置,其中:所述上部模块为基本柱形。
3.根据权利要求1所述的流体输送装置,其中:该上部模块还包括一顶面,该顶面包括一平部分,该平部分设置为置于流体处理部件平表面的下面。
4.根据权利要求1所述的流体输送装置,其中:该下部模块的顶面设置为靠近该上部模块底面。
5.根据权利要求1所述的流体输送装置,其中:上部模块还包括多个上部通道,各上部通道终止于位于该上部模块底面处的下部模块连接孔中,所述下部模块还包括多个流动通路,各流动通路包括一个下部通道,该下部通道终止于位于各下部模块顶面处的上部模块连接孔中,各上部模块连接孔与相应的一个所述下部模块连接孔流体连接。
6.根据权利要求5所述的流体输送装置,该装置还包括:一个隔板,该隔板有多个对齐孔,用于使下部模块的各上部模块连接孔与相应的一个上部模块的下部模块连接孔对齐。
7.根据权利要求5所述的流体输送装置,还包括:至少一个流动通路,该流动通路终止于一个水平延伸的横向孔。
8.根据权利要求7所述的流体输送装置,还包括:一个托架,用于将该至少一个流动通路固定在基座块上。
9.根据权利要求1所述的流体输送装置,其中:该基座块和上部模块各包括一个子组件孔,该子组件孔的尺寸可安装一个穿过上部模块并伸入下部模块的紧固件。
10.根据权利要求9所述的流体输送装置,其中:该基座块子组件孔是螺纹孔,以便安装螺纹紧固件。
11.根据权利要求1所述的流体输送装置,其中:该基座块设置为可释放地固定在平表面上。
12.根据权利要求1所述的流体输送装置,该装置还包括:多个基座块和多个上部模块,各上部模块装于一个相应的基座块内。
13.根据权利要求12所述的流体输送装置,其中:各基座块包括一个具有平部分的侧面,该平部分允许各基座块靠近另一基座块。
14.根据权利要求1所述的流体输送装置,该装置还包括:一个隔板,该隔板有对齐孔,该对齐孔使下部模块的下部通道与上部模块的上部通道对齐。
15.根据权利要求1所述的流体输送装置,其中:该柱形隔板为基本柱形形状。
16.根据权利要求1所述的流体输送装置,其中:该流体处理部件由以下组中选择,该组包括:喷嘴、进口孔、出口孔、压力计、压力调节器、压力传感器、过滤器、净化器、混合阀、气动阀、人工操作阀、单向阀、流量计和流量控制器。
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