[发明专利]碳化硅质材料热处理用夹具无效
| 申请号： | 02108008.9 | 申请日： | 2002-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN1376647A | 公开（公告）日： | 2002-10-30 |
| 发明（设计）人： | 木下寿治 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社;NGK阿德列克株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/56 | 分类号： | C04B35/56;C01B31/36 |
| 代理公司： | 北京银龙专利代理有限公司 | 代理人： | 刘克宽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳化硅 材料 热处理 夹具 | ||
1.一种玻璃基板进行热处理时，为载置该玻璃基板所使用的热处理用夹具，其特征是主相由碳化硅构成，在其表面具有凹凸形状，表面的算术平均粗糙度Ra为0.01-200m，凹凸的平均间隔Sm与算术平均粗糙度Ra的比(Sm/Ra)为500以下。
2.权利要求1所记载的热处理用夹具，其中，表面的算术平均粗糙度Ra为0.1-20m。
3.权利要求1所记载的热处理用夹具，其中，表面的算术平均粗糙度Ra为0.1-10m。
4.权利要求1-3的任一项所记载的热处理用夹具，其中面积为0.7米2以上。
5.权利要求1-3的任一项所记载的热处理用夹具，其中面积为0.9米2以上。
6.权利要求1-5的任一项所记载的热处理用夹具，其中该玻璃基板是在平板显示器中使用。
7.权利要求1-6的任一项所记载的热处理用夹具，其中刚性率为130Gpa以上。
8.权利要求1-6的任一项所记载的热处理用夹具，其中刚性率为200Gpa以上。
9.权利要求1-8的任一项所记载的热处理用夹具，其中含金属硅5-50质量％。
10.权利要求1-9的任一项所记载的热处理用夹具，其中壁厚与面积之比(壁厚/面积)为2.0×10-6·1/mm-7.3×10-6·1/mm。
11.权利要求9所记载的热处理用夹具，其中在表层有二氧化硅层。
12.权利要求1-11的任一项所记载的热处理用夹具，其中热传导率为80W/mK。
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