[发明专利]使用曝光液体制造微型钻头的方法和装置无效
| 申请号： | 02108014.3 | 申请日： | 2002-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1446658A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 李成九 | 申请（专利权）人： | 株式会社下人自动机 |
| 主分类号： | B23B51/00 | 分类号： | B23B51/00;B23K26/00;C09K13/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 曝光 液体 制造 微型 钻头 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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