[发明专利]具有改善的光学效率和衬度的机电适形光栅器件

权利要求书

1.一个周期为Λ的机电适形光栅器件，包括：

(a)一个细长带状元件，它包括一个光反射表面；

(b)一对端支座，它用来将细长带状元件在两端支承在衬底上方；

(c)一个中间支座；

(d)将一个力施加于细长带状元件以使它在第一和第二工作状态之间变形的装置，其中在第二工作状态下，细长带状元件机械上与中间支座的形状相适应，形成一个光栅，光栅的衍射周期为Λ并具有交替凸起和下陷的部分；

(e)衍射光栅周期Λ由中间支座的位置确定；

(f)凸起部分和下陷部分的长度大致相等。

2.如权利要求1所述的机电适形光栅器件，其中中间支座具有宽度b，b应选为：Λ/4≤b≤Λ/2。

3.一种具有改善的光学效率和衬度的机电适形光栅器件，包括：

(a)一个细长带状元件，它包括一个光反射表面；

(b)一对端支座，它用来将细长带状元件在两端支承在衬底的上方；

(c)至少一个具有宽度b的中间支座，其中在宽度b内至少一个中间支座上具有几个分支座；

(d)用于将一个力施加于细长带状元件以使它在第一和第二工作状态之间变形的装置，其中在第二工作状态下，细长带状元件机械上与中间支座形状相适应，且保持悬在分支座之间，以形成一个光栅。

4.如权利要求3所述的机电适形光栅器件，其中在宽度b内至少有两个相隔开的分支座。

5.如权利要求3所述的机电适形光栅器件，其中宽度b应选为使Λ/4≤b≤Λ/2。

6.如权利要求3所述的机电适形光栅器件，其中宽度b应选为使b～Λ/3。

7.如权利要求3所述的机电适形光栅器件，其中在第一工作状态，细长带状元件起平面反射器的作用，而在第二工作状态下，细长带状元件起衍射光栅的作用，此光栅的周期平行于长形带状元件长度。

8.如权利要求3所述的机电适形光栅器件，其中细长带状元件被固定在分支座和端支座上。

9.如权利要求3所述的机械适形光栅器件，其中在第一工作状态下细长带状元件平坦地悬着，在第二工作状态下细长带状元件具有均匀变化的轮廓并至少有两个周期。

10.一种具有改进的光学效率的机电适形光栅器件，包括：

(a)一个细长带状元件，它包括一个光反射表面；

(b)一对端支座，它们用来将细长带状元件在两端支承在衬底之上；

(c)至少一个宽度为b的中间支座，其中b应选为使Λ/4≤b≤Λ/2；以及

(d)用于将一个力施于细长带状元件以使它在第一和第二工作状态之间变形的装置，其中此细长带状元件在机械上与中间支座形状相适应。

11.如权利要求10所述的机电适形光栅器件，其中宽度b应选得使b～Λ/3。

12.如权利要求10所述的机电适形光栅器件，其中在第一工作状态下，细长带状元件起平面反射器作用；在第二工作状态下，细长带状元件起衍射光栅的作用，其周期平行于细长带状元件长度。

13.如权利要求10所述的机电适形光栅器件，其中中间支座仅在第二工作状态下与细长带状元件相接触。

14.如权利要求10所述的机电适形光栅器件，其中细长带状元件包含一些平行的隔开的部分。

15.如权利要求10所述的机电适形光栅器件，其中在第一工作状态下细长带状元件是平坦地悬着；在第二工作状态下，细长带状元件具有均匀变化的轮廓并至少包含两个周期。