[发明专利]测量机的光轴自动调节

权利要求书

1.一种对光轴进行自动调节的测量机，包括：

一个观察光学系统，用于观察一个对象；

一个光传送光学系统，它把从一个光源发出的一个用于测量的光束传送至所述对象；

一个偏离探测器，它探测与所述观察光学系统对应的一个第一光轴和与所述光传送光学系统对应的一个第二光轴之间的一个偏离；以及

一个光轴调节器，它对所述第一光轴和所述第二光轴中的至少一个进行自动调节以对所述偏离进行校正。

2.根据权利要求1的测量机，其中所述光传送光学系统包括一个反射光学部件和一个折射光学部件中的至少一个，且所述光轴调节器包括一个位置改变器，该位置改变器改变所述反射光学部件与所述折射光学部件中的至少一个的位置，所述先轴调节器通过根据所述偏离改变该位置而对所述第二光轴进行调节。

3.根据权利要求1的测量机，进一步包括：

一个距离探测器，它通过接收来自所述对象的反射光中包括的所述光束而测量所述测量机与所述对象之间的距离；以及

一个特定区域反射光学部件，它被设置在所述观察光学系统中并具有一个反射区和一个透过区，所述反射区有选择地反射所述反射光中的所述光束以把所述光束引向所述距离探测器，所述透过区使得所述反射光的全部都能够穿过。

4.根据权利要求3的测量机，其中所述特定区域反射光学部件由一个单个的部件构成，其中所述反射区和所述透过区被形成在一个整体中。

5.根据权利要求3的测量机，其中所述特定区域反射光学部件由多个部件构成，其中所述反射区和透过区被单独形成。

6.根据权利要求1的测量机，其中所述光束是与用于观察的光对应的一个观察光束和与用于测量所述测量机与所述对象之间的距离的光对应的一个测量光束中的一个。

7.根据权利要求1的测量机，其中所述偏离探测器包括一个可选的反射光学部件-该部件被设置在所述观察光学系统中并通过反射所述光束而对来自所述对象的反射光中的所述光束进行分割。

8.根据权利要求1的测量机，其中所述偏离探测器包括一个可选透射光学部件，该透射光学部件被设置在所述观察光学系统中并通过使所述光束能够穿过而对来自所述对象的反射光中的所述光束进行分割。

9.根据权利要求7的测量机，其中所述可选的反射光学部件具有一个第一分色表面，该表面只反射具有与所述光束对应的一个波长的光。

10.根据权利要求8的测量机，其中所述可选透射光学部件具有一个第二分色表面，该表面只使得具有与所述光束对应的一个波长的光能够穿过。

11.根据权利要求8的测量机，其中所述可选透射光学部件是一个正立棱镜，该正立棱镜具有一个第二分色表面，该第二分色表面只让具有与所述光束对应的一个波长的光能够穿过，所述正立棱镜作为所述观察光学系统之一而得到提供以使一个对象图象正立。

12.根据权利要求1的测量机，其中所述偏离探测器从所述第一光轴与来自所述对象的、通过所述观察光学系统的反射光中包括的所述光束的一个行进方向之间的一个差来探测所述偏离。

13.根据权利要求1的测量机，其中所述偏离探测器包括一个两维偏离探测器，该偏离探测器接收所述光束并探测由在一个焦平面中定义的两维坐标所表示的所述偏离，所述两维偏离探测器根据所述光束的入射位置和与所述第一光轴对应的一个预定的基准位置来探测所述偏离。

14.一种测量机的一种自动光轴调节设备，所述测量机具有：一个观察光学系统，用于观察一个对象；以及，一个光传送光学系统，它把从一个光源发出的一个用于测量的光束传送至所述对象，所述自动光轴调节设备包括：

一个偏离探测器，它探测与所述观察光学系统对应的一个第一光轴和与所述光传送光学系统对应的一个第二光轴之间的一个偏离；以及

一个光轴调节器，它对所述第一光轴和所述第二光轴中的至少一个进行自动调节以对所述偏离进行校正。