[发明专利]双波长纳米精度实时干涉测量仪

权利要求书

1.一种双波长纳米精度实时干涉测量仪，包括：

<1>带有第一驱动电源(1)和第一温度控制器(18)的第一光源(13)发射的光束通过第一段光纤(1301)射入第一隔离器(14)内，由第一隔离器(14)出射后，通过第二段光纤(1302)由合波元件(7)的第二端口b射入，从合波元件(7)的第三端口(c)射出后，再通过第三段光纤(1303)由光纤耦合器(8)的第一端口(P1)射入，从光纤耦合器(8)的第三端口(P3)射出后，再通过第四段光纤(1304)，经过准直器(15)准直，透过部分反射元件(16)射到被测物体(17)上；

<2>由光纤耦合器(8)第二端口(P2)出射的光束经过第七段光纤(801)射到光电转换元件(9)上，由光纤耦合器(8)第四端口(P4)出射的光束经过第八段光纤(802)射到防反射元件(12)上；

其特征在于：

<3>有波长λ₂不等于第一光源(13)的波长λ₁的带有第二驱动电源(3)和第二温度控制器(4)的第二光源(5)，由第二光源(5)发射的光束通过第五段光纤(501)，经过第二隔离器(6)，再经过第六段光纤(502)由合波元件(7)的第一端口(a)射入，同样从合波元件(7)的第三端口(c)射出后，再通过第三段光纤(1303)由光纤耦合器(8)的第一端口(P1)射入，从光纤耦合器(8)的第三端口(P3)射出后，再通过第四段光纤(1304)，经过准直器(15)准直，透过部分反射元件(16)射到被测物体(17)上；

<4>第一驱动电源(1)和第二驱动电源(3)之间连接有触发控制器(2)；

<5>有包含三个输入端口(11a、11b、11c)和一个输出端口(11d)的信号处理器(11)，信号处理器(11)的第一输入端口(11a)与光电转换元件(9)的输出端相连，信号处理器(11)的第二输入端口(11b)与第二驱动电源(3)相连，信号处理器(11)的第三输入端口(11c)与第一驱动电源(1)相连，信号处理器(11)的输出端口(11d)连接到数字显示器(10)上。

2.根据权利要求1所述的双波长纳米精度实时干涉测量仪，其特征在于所说的信号处理器(11)的结构包括，信号处理器(11)的第一输入端口(11a)分别与第一乘法器(1101)、第二乘法器(1121)、第三乘法器(1110)和第四乘法器(1111)相连，其中第一乘法器(1101)与第一低通滤波器(1103)和第一模数转换器(1104)串联后接入第一存储器(1105)内，第二乘法器(1121)与第二低通滤波器(1120)和第二模数转换器(1119)串联后接入第一存储器(1105)内，第三乘法器(1110)与第三低通滤波器(1108)和第三模数转换器(1107)串联后接入第二存储器(1106)内，第四乘法器(1111)与第四低通滤波器(1112)和第四模数转换器(1113)串联后接入第二存储器(1106)内；信号处理器(11)的第二输入端口(11b)分别与第四乘法器(1111)和第六乘法器(1109)相连，其中第六乘法器(1109)与第三乘法器(1110)相连；信号处理器(11)的第三输入端口(11c)分别与第二乘法器(1121)和第五乘法器(1102)相连，其中第五乘法器(1102)与第一乘法器(1101)相连；第一存储器(1105)的输出分别经过第七乘法器(1118)连至加法器(1116)上和依次经过减法器(1114)、除法器(1115)和第八乘法器(1117)连至加法器(1116)上；第二存储器(1106)的输出依次经过减法器(1114)、除法器(1115)和第八乘法器(1117)连至加法器(1116)；加法器(1116)的输出接入数字显示器(10)内。