[发明专利]一维微位移装置

说明书

一、技术领域

本发明涉及一种微位移移动平台，尤其是指一种栅线相移器的一维微位移装置。

二、背景技术

目前，微位移装置大多采用压电陶瓷产生微位移，在需要产生几百微米位移时通常需要采用压电陶瓷堆和高电压实施，由于使用高电压，因此，设置复杂难以精确控制，且只能用于100微米以下，而不能用于变化范围在几百纳米至几百微米微位移的场合。

三、技术方案

技术问题：本发明提供一种适于产生几百纳米至几百微米的微位移控制简便易行且成本低廉的一维微位移装置。

技术方案：一种用于栅线相移器的一维微位移装置，包括位移平台，该位移平台由固定台和移动台组成，固定台与移动台弹性连接，在固定台上设有推杆孔，在推杆孔内设推杆，推杆的一端设在端面凸轮上，推杆的另一端设在移动台上，端面凸轮连于步进电机。

有益效果：①由于本发明采用了端面凸轮，使得较大的角位移可以转化为微小的直线位移，由推杆推动移动台发生微位移，步进电机所具有的脉冲控制的特性以及端面凸轮，推杆的技术措施使得本发明能够简便地控制移动台移动，且能满足该类微位移装置的精度要求并具线性好的优点，此外，本发明的这种产生位移的措施无需现有技术中用高电压来使压电陶瓷产生所需位移的技术措施，所以，本发明还具有成本低廉的优点。②本发明将端凸轮选定为螺纹推轮，而螺纹推轮可以是短螺杆，将推杆设在其螺纹侧面后，可以使推杆随螺纹推轮的旋转运动而发生轴向平移，由于螺杆的制造简单，成本低廉，所以，本发明所采用的这一技术措施具有成本更趋低廉的优点。③由于本发明所采用的推杆与移动台的相对位置关系即推杆与移动台的接触位置位于移动台的中心对称位置，而移动台又是一个轴对称结构，所以本发明可以保证移动台只发生平移，而不发生转动，从而对保证精度有利。

四、附图说明

图1是本发明的结构剖视图。

图2是本发明的螺纹推轮的结构示意图。

图3是本发明的位移平台的另一实施例结构示意图。

五、实施方案

一种用于栅线相移器的一维微位移装置，包括位移平台，该位移平台由固定台1和移动台2组成，固定台1与移动台2弹性连接。在固定台1上设有推杆孔，在推杆孔内设推杆3，上述推杆孔对推杆起着导向作用，推杆3的一端设在端面凸轮4上，推杆3的另一端设在移动台2上，端面凸轮4连于步进电机5，端面凸轮4为螺纹推轮，螺纹推轮为螺距较小的矩形螺纹，螺纹推轮的螺距不大于1毫米。推杆3设在螺纹推轮的螺纹侧面7上，上述推杆3与移动台2的接触位置位于移动台2的中心对称位置。