[发明专利]一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器

权利要求书

1、一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器，其特征在于：由在同一芯片上制作的微桥谐振器[1]、微悬臂梁谐振器[2]和基片[3]组成，微桥谐振器[1]和微悬臂梁谐振器[2]材料相同，厚度相等或相近，同时制作，工艺相同；微悬臂梁谐振器[2]作为温敏元件，通过数据融合技术，微悬臂梁谐振器[2]的谐振频率能够实时补偿温度变化对微桥谐振器[1]谐振频率的交叉灵敏度。

2、根据权利要求1所述的一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器，其特征在于：微桥谐振器[1]和微悬臂梁谐振器[2]的距离在微米量级，微悬臂梁谐振器[2]可精确反映微桥谐振器[1]的温度。

3、根据权利要求1所述的一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器，其特征在于：微桥谐振器[1]和微悬臂梁谐振器[2]均具有双层结构或多层结构。

4、根据权利要求1所述的一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器，其特征在于：微桥谐振器[1]和微悬臂梁谐振器[2]的激励方式可以为电磁激励、静电激励、逆压电激励、电热激励和光热激励；其检测方式可以为压电拾振、电容拾振、电磁拾振、光信号拾振以及压敏电阻拾振。