[发明专利]旋转涂敷方法与设备,及用于该方法与设备的掩模

说明书

技术领域

本发明涉及用于通过使用旋转涂敷方法向盘体施涂可辐射硬化的材料的方法和设备。本发明的方法和设备适用于制成种类广泛的盘体，包括CD型盘的光盘，诸如CD、CD-R及CD-RW，DVD型盘，诸如DVD-ROM，DVD-R，DVD-RW及DVD-RAM，以及近来在研发的使用蓝色激光的盘，和磁-光盘，诸如MO和MD。

本发明还涉及在以下情形下使用旋转涂敷方法在盘体上实现成膜时所使用的掩模，即在CD型盘的光盘，诸如CD，CD-R，或CD-RW，DVD型盘，诸如DVD-ROM，DVD-R，DVD-RW或DVD-RAM，以及近来研发中使用蓝色激光的盘(disc coping with a blue laser)，或磁-光盘，诸如MO或MD的制造期间，并涉及使用该掩模的旋转涂敷方法和设备。

背景技术

旋转涂敷是向盘体的中心附近提供液体材料，使盘体旋转并通过旋转的离心力散布液体材料，并在盘体的表面形成厚度均匀的液体材料涂层的技术。旋转涂敷广泛用于例如CD型盘和DVD型盘的保护层等的形成。

另一方面，近年来，作为下一代信息记录介质的使用蓝色激光的盘的研发已经有进展。传统的小型光盘或DVD盘具有聚碳酸酯等透明的基片，并实现了信息从透明基片侧通过透明基片的复制(以及在记录型盘情形下的记录)，而这种使用蓝色激光的盘实现了信息从与基片相反侧的记录和复制。因而，必须在记录层(或反射层)上形成厚度0.1mm(100μm)的透明的透光层。

已经提出在盘上粘贴厚度为0.1mm的透明膜作为这种透光层的技术，但是在某些情形下，会发生气泡进入膜和盘之间或在膜中生成波纹的麻烦情形。而且，把膜切割成圆形并将其粘贴的步骤消耗了大量的时间和劳力。于是，如果使用蓝色激光的这种盘拷贝透光层能够通过旋转涂敷形成，则将是方便的，但是传统的旋转涂敷有以下的问题，并因而被认为难以使用旋转涂敷技术用于蓝色激光盘的透光层的形成。

就是说，在盘体的旋转涂敷期间，液体材料滴到盘体中心附近且盘被驱转，由于离心力液体材料以很均匀的膜厚分布到整个盘上。然而，当盘的旋转停止而离心力变为零时，由于分布在盘上的液体的表面张力所致会出现膜厚度的不均匀性，诸如在盘体的外周边附近使涂层隆起。在作为涂层被施涂的液体材料的黏滞性较高时，这将变得特别明显。

在某些情形下这造成了很大的问题，例如在上述蓝色激光盘的透光膜的情形下，除非在记录区将误差抑制到相对于100μm的膜厚在±3μm数量级内的误差(非均匀性)，否则盘的记录-复制信号精度被恶化，但是由于上述表面张力所致的非均匀性有时大大超过这种情形。

而且，在上述盘中，形成用于在将其装到盘驱动设备上期间定中心的一个孔(15φ)，并因为在注模期间为保持模压器而存在沟槽等，在盘基片的中心部分不形成膜(层)。因而，在使用旋转涂敷技术要在这些盘上实现成膜(膜的施涂)时，用于覆盖基片的掩模附加到其中心部分，使得盘能够不被涂敷，或者从其外周边部分而不是从上述的沟槽实现涂敷。当需要更均匀的膜施涂时，装设了用于覆盖盘面的掩模，以便在其中心部分不会实现涂敷。

附图的图9表示在盘的旋转涂敷设备中使用掩模的一例。图9是一剖视图，表示安装在旋转涂敷设备的旋转器上的盘及置于其上的掩模。旋转器台202固定到一旋转器轴200，该轴与一未示出的马达(电动机)连接并由其旋转驱动。垫片203固定在旋转器台202上，且盘204置于其上。盘204是由一未示出的器具真空吸附在垫片203上的。用于覆盖盘的中心部分的掩模206置于盘204之上。这时，设在旋转器台202的上表面中心部分附近的环形凸起205适配在掩模206的环形沟槽206a中。在旋转涂敷期间，通过一管路210使旋转器台202的中心部分中的一个空间212成为真空，从而掩模206被吸附而固定。

在涂敷的情形下，液体涂敷材料从上向掩模的中心部分附近供给。然后，转台以高速被驱转，且供给到掩模上的涂敷材料，通过旋转的离心力散布到盘上没有被掩模覆盖的部分的整个表面。从而，涂敷材料的膜(层)在盘的上述整个部分以相当均匀的厚度形成。

当上述旋转涂敷过程终止时，掩模的真空吸附必须被释放，且必须移除掩模，但这时有以下问题。