[发明专利]液晶显示器及其制造方法

权利要求书

1.一种液晶显示器装置，其设有多条栅极线、多条数据线、多个TFT，栅极线与数据线交叉限定出象素区域，TFT设置在栅极线和数据线的交叉点上，其中在漏极和象素区域的预定部分上形成了将TFT的漏极与象素区域的象素电极电连接在一起的接触孔。

2.根据权利要求1所述的液晶显示器装置，其中TFT和象素区域包括：

在绝缘基板上形成的栅极；

在包含了栅极的整个绝缘基板表面上形成的栅极绝缘薄膜；

在栅极绝缘薄膜上的预定部分先后淀积的举导体层和欧姆接触层；

设置在欧姆接触层左边和右边的源极和漏极；

在包括源极和漏极的整个基板表面上形成的钝化膜；

通过刻蚀钝化膜以便暴露出预定部分的漏极和预定部分的绝缘基板而形成的接触孔，其后在该处将形成象素电极；以及

在钝化膜和接触孔上设置的象素电极。

3.一种液晶显示器装置，其包括：

设置得与基板上的数据线交叉的栅极线，由此限定出象素区域；

薄膜晶体管，每个晶体管具有栅极、源极和漏极，这些晶体管设置在栅极线和数据线的交叉点上；

在漏极和象素区域上设置的接触孔；以及

在象素区域内形成的象素电极，其用于通过接触孔将象素电极连接到漏极上。

4.根据权利要求3所述的液晶显示器装置，其中接触孔是在漏极的边缘部分和与该漏极边缘部分相邻的象素区域上形成的。

5.根据权利要求3所述的液晶显示器装置，其中每个薄膜晶体管进一步包括：

基板，上面设置了栅极；

位于包括栅极的整个基板表面上的栅极绝缘薄膜；

位于栅极上方的栅极绝缘薄膜上的半导体层；

位于半导体层相对两端的源极和漏极；以及

在包括源极和漏极的整个基板表面上形成的钝化膜。

6.根据权利要求5所述的液晶显示器装置，其中接触孔穿过位于漏极边缘部分和与该漏极边缘部分相邻的象素区域内的钝化膜。

7.根据权利要求5所述的液晶显示器装置，其中接触孔穿过位于漏极边缘部分和与该漏极边缘部分相邻的象素区域内的钝化膜和栅极绝缘薄膜。

8.一种制造液晶显示器装置的方法，它包括：

在绝缘基板上形成薄膜晶体管，每个晶体管具有栅极、源极和漏极；

在包括薄膜晶体管的整个基板表面上形成钝化膜；

在漏极和与该漏极相邻的象素区域的预定部分上形成接触孔；

在象素区域内形成象素电极，该电极通过接触孔与漏极相连。

9.根据权利要求8所述的方法，其中接触孔是在漏极边缘部分和与该漏极边缘部分相邻的象素区域上形成的。

10.根据权利要求8所述的方法，接触孔是通过选择性地去除漏极边缘部分和与该漏极边缘部分相邻的象素区域上的钝化膜形成的。

11.根据权利要求8所述的方法，其中形成薄膜晶体管的步骤包括：

在绝缘基板上形成栅极；

在包括栅极的绝缘基板整个表面上形成栅极绝缘薄膜；

在栅极绝缘薄膜上的预定部分形成半导体层；以及

分别在半导体层的相对两端形成源极和漏极。

12.根据权利要求11所述的方法，其中接触孔是通过选择性地去除位于漏极边缘部分和与该漏极边缘部分相邻的象素区域上的钝化膜和栅极绝缘薄膜形成的。