[发明专利]微型镜驱动器以及控制微型镜驱动器的方法

权利要求书

1.一种微型镜驱动器，包含：

具有至少一个沟槽的微型镜；

用来支撑微型镜使其能够旋转的弹性体；

至少一个通过和微型镜相互作用产生的静电力来使微型镜旋转的电极；

其中通过改变至少一个电极电压的幅值或波形来控制微型镜的振幅和频率。

2.根据权利要求1所述的微型镜驱动器，其中沟槽在微型镜的周围形成使之布置在微型镜轴线附近。

3.根据权利要求1或2所述的微型镜驱动器，其中该至少一个电极包含：

在微型镜旋转期间用来控制微型镜频率的第一电极；和

在微型镜旋转期间用来控制微型镜振幅的第二电极，并且第二电极工作独立于第一电极。

4.根据权利要求3所述的微型镜驱动器，其中该至少一个电极的电压V满足下面的方程：V²＝V₀+αθ，其中V₀代表了该至少一个电极的初始电压，α代表了任意系数，θ代表了微型镜旋转的角度。

5.根据权利要求4所述的微型镜驱动器，其中第一电极的电压V1满足下面的方程：V₁²＝V₀。

6.根据权利要求4或者5所述的微型镜驱动器，其中第二电极的电压V2满足下面的方程：V₂²＝V₀。

7.根据权利要求3所述的微型镜驱动器，其中电极形成为梳状以便电极的相对表面的有效面积可以最大。

8.根据权利要求1或2所述的微型镜驱动器，其中形成的沟槽相对于微型镜的旋转轴对称。

9.根据权利要求8所述的微型镜驱动器，其中电极形成为梳状以便电极的相对表面的有效面积能够最大。

10.一种微型镜驱动器，包括：

具有至少一个沟槽和在沟槽上形成基本电极的微型镜；

用来支撑微型镜使之能够旋转的弹性体；

至少两个通过与基本电极相互作用产生的静电力能使微型镜转动的电极，并且彼此相互独立工作。

11.根据权利要求10所述的微型镜驱动器，其中沟槽在微型镜的周围形成以便布置在微型镜旋转轴附近。

12.根据权利要求10或11所述的微型镜驱动器，其中两个电极和基本电极形成为梳状，基本电极被布置成与每个电极成啮合状，以便基本电极和两个电极中的每个的相对表面的有效面积可以达到最大。

13.根据权利要求12所述的微型镜驱动器，其中两个电极中的一个用来通过改变施加到其上的电压波形来控制微型镜的频率。

14.根据权利要求12所述的微型镜驱动器，其中另外一个电极通过改变施加到其上的电压的幅值来控制微型镜的振幅。

15.根据权利要求13或14所述的微型镜驱动器，其中两个电极的电压V满足下面的方程：V²＝V₀+αθ，其中V₀代表两个电极的初始电压，α代表了任意系数，θ代表了微型镜旋转的角度。

16.根据权利要求18所述的微型镜驱动器，其中两个电极包含用来控制微型镜振幅的电极，并且电压V1满足下面的方程：V₁²＝V₀。

17.根据权利要求15或16所述的微型镜驱动器，其中两个电极包括用来控制微型镜共振频率的电极，并且电压V2满足下面的方程：V₂²＝V₀，微型镜的频率可以通过改变α来控制。

18.根据权利要求10或11所述的微型镜驱动器，其中沟槽形成为相于微型镜的旋转轴对称。