[发明专利]无电解铜电镀液和高频电子元件无效
申请号: | 02118658.8 | 申请日: | 2002-04-24 |
公开(公告)号: | CN1384222A | 公开(公告)日: | 2002-12-11 |
发明(设计)人: | 加纳修;吉田健二 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | C23C18/38 | 分类号: | C23C18/38;H01P11/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 沈昭坤 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电解铜 电镀 高频 电子元件 | ||
1.一种无电解铜电镀液,其特征在于,包括:
铜盐;
镍盐;
甲醛或其衍生物;和
酒石酸或酒石酸盐。
2.如权利要求1所述的无电解铜电镀液,其特征在于,镍、铜离子克分子含量之比约为0.0001~0.015。
3.如权利要求2所述的无电解铜电镀液,其特征在于,镍、铜离子克分子含量之比约为0.0001~0.01。
4.如权利3所述的无电解铜电镀液,其特征在于,镍、铜离子克分子含量之比约为0.0005~0.05。
5.如权利要求4所述的无电解铜电镀液,其特征在于,所述镍、铜盐为硫酸盐。
6.如权利要求5的无电解铜电镀液,其特征在于,酒石酸或酒石酸盐是罗谢尔盐。
7.如权利要求2所述的无电解铜电镀液,其特征在于,所述镍、铜盐是硫酸盐。
8.如权利要求7所述的无电解铜电镀液,其特征在于,酒石酸或酒石酸盐是罗谢尔盐。
9.如权利要求1所述的无电解铜电镀液,其特征在于,所述镍、铜盐是硫酸盐。
10.如权利要求9所述的无电解铜电镀液,其特征在于,所述酒石酸或酒石酸盐是罗谢尔盐。
11.一种在支架上含有铜镀膜的高频电子元件,其特征在于,所述铜镀膜用权利要求6所述的电镀铜溶液电镀形成。
12.一种在支架上含有铜镀膜的高频电子元件,其特征在于,所述铜镀膜用权利要求2所述的电镀铜溶液电镀形成。
13.一种在支架上含有铜镀膜的高频电子元件,其特征在于,所述铜镀膜用权利要求1所述的电镀铜溶液电镀形成。
14.一种高频电子元件,其特征在于,包括:
有一表面的陶瓷;和
所述陶瓷表面上的金属膜;
其中金属膜包括含镍的铜,镍与铜的克分子含量之比约为0.0001~0.015。
15.如权利要求14所述的高频电子元件,其特征在于,所述金属膜包括含镍的铜,镍与铜的克分子含量之比约为0.0001~0.01。
16.如权利要求15所述的高频电子元件,其特征在于,所述金属膜包括含镍的铜,镍与铜的克分子含量之比约为0.0005~0.05。
17.一种形成权利要求16所述的高频电子元件的方法,其特征在于,包括在一种通气的溶液中对陶瓷作无电镀,所述溶液含有铜盐、镍盐、甲醛或其衍生物和酒石酸或酒石酸盐,其中镍与铜离子的克分子含量之比约为0.0005~0.05,通气速率约为0.2~0.4升/分钟。
18.一种形成权利要求15所述的高频电子元件的方法,其特征在于,包括在一种通气的溶液中对陶瓷作无电镀,所述溶液含有铜盐、镍盐、甲醛或其衍生物和酒石酸或酒石酸盐,其中镍与铜离子的克分子含量之比约为0.0001~0.015,通气速率约为0.1~0.5升/分钟。
19.一种形成权利要求14所述的高频电子元件的方法,其特征在于,包括在一种通气的溶液中对陶瓷作无电镀,所述溶液含有铜盐、镍盐、甲醛或其衍生物和酒石酸或酒石酸盐,其中镍与铜离子的克分子含量之比约为0.0001~0.015,通气速率约0.1~0.5升/分钟。
20.一种形成权利要求19所述的高频电子元件的方法,其中陶瓷在无电镀之前已腐蚀。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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