[发明专利]磁转录用主载体

说明书

技术领域

本发明涉及承载着向从属介质进行磁转录的转录信息的磁转录用主载体。

背景技术

磁转录方法是指使在衬底表面上由磁性体形成与转录信息相对应的凹凸形状的主载体表面与具有磁记录部的从属介质的表面密合，在该状态下外加转录用磁场，将与主载体所承载的信息(例如伺服信号)相对应的磁化图案转录记录到从属介质的磁记录部中的方法。作为该磁转录方法，例如在特开昭63-183623号公报、特开平10-40544号公报、特开平10-269566号公报等中进行公开。

磁转录中所使用的主载体通过在硅衬底、玻璃衬底等上施行光刻、溅射、蚀刻等处理形成磁性体的凹凸图案而构成。

另外，认为应用在半导体等中所使用的石印技术或者在光盘冲压制作中所使用的冲压制作技术，制作磁转录用主载体。

为了提高上述磁转录中的转录质量，使主载体和从属介质没有任何间隙地密合成为重要课题。也就是说，存在以下问题：当密合不良时，产生不会引起磁转录的区域，当不会引起磁转录时，在向从属介质转录的磁信息中产生信号遗漏，降低信号质量，记录的信号是伺服信号的情况下，不能充分得到跟踪机能，可靠性降低。

另外，本申请人在特愿平11-117800号中提出了一种磁转录方法，即预先使磁记录介质的磁化进行初始直流磁化，然后，使磁记录介质与具有软磁性层图案的主载体对峙密合，加上转录磁场，由此可以进行更良好的转录。

然而，在上述主载体中，已知在用磁性体于衬底上形成与转录信息相对应的凹凸图案的情况下，凸部图案的顶面形状对转录特性有影响。

详细情况在后述的实验例中表示，改变各种条件制作多种主载体，使用该主载体向从属介质进行磁转录，确认该转录信号的质量时，根据主载体的制作条件，信号质量存在下述情况，即比不通过磁转录而用磁头等直接将信号记录在从属介质上的现有方法的水平低。

此时，确认在主载体上所形成的凹凸图案的形状时，可知凸部图案的顶面角部的平面形状产生很大的影响。已知例如，在从属圆盘介质的情况下，与伺服信号相对应的转录信息的凹凸图案在磁道的宽度方向(半径方向)上形成长的矩形或正方形凸部图案，但是，如果不削去其四角的角部而形成锐角，在反复进行与从属介质的密合时，该角部脱落，就成为产生尘埃的主要原因，并成为转录信号质量劣化的原因。

根据上述问题点可知，需要削去凸部图案的角部，但在削成圆弧状的情况下，该圆角的半径R的大小也对转录信号质量产生影响。即已知，制作对圆角进行各种变更的主载体，进行将其半径R作为参数的实验、模拟试验，结果，若圆角的半径R变大，那么在使主载体和从属介质密合进行磁转录时，会使圆角部分外加的转录用磁场产生记录损失，因在从属介质上磁化图案的形成不完全，所以不能记录清楚的信号。

如果减小圆角的半径R并接近矩形，那么因降低记录损失而提高转录信号的质量，但如果减小该半径R，由尖锐地形成凸部图案四角的主载体进行多次磁转录，则信号质量降低。这如上所述可知，由于图案角部破损，破损片残留在图案上，磁转录不良，所以产生记录信号遗漏。

特别是当从属介质的记录容量增大时，在主载体上形成的凹凸图案也变得微细，必须兼顾防止凸部图案的角部破损和降低记录损失这两种相互对立的要素，提高可靠性。

发明内容

本发明是鉴于上述问题提出的，其目的在于提供一种磁转录用主载体，在使主载体和从属介质密合外加转录用磁场进行磁转录时，通过降低记录损失而提高转录信号质量，通过防止主载体的图案破损而提高耐久性以及抑制转录不良。

并且，在上述那样的磁转录中，为了将其压接、密合，使之通过平坦的主载体从一侧或两侧挟持从属介质，必须高水平地除去尘埃。这是因为如果在密合部存在尘埃，不仅不能稳定地进行磁转录，而且可能会损伤主载体或从属介质本身。

另外，在磁转录中，由于在主载体和从属介质上施加较强的压力进行全面密合，所以当反复进行多次磁转录而增加密合次数时，由于该步骤，在衬底上制成的软磁性层剥落，这存在于密合部分，使转录信号质量降低，同时也成为主载体的耐久性劣化的主要原因。

由对上述软磁性层的剥离部位进行分析的结果可知，在主载体和从属介质密合时，在主载体的变形较大，特别是变形量大的部位引起软磁性层的剥离。