[发明专利]去除抗蚀剂材料的方法无效
| 申请号： | 02119873.X | 申请日： | 2002-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1387090A | 公开（公告）日： | 2002-12-25 |
| 发明（设计）人： | 丰田英志;井冈晴男 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒,魏晓刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 去除 抗蚀剂 材料 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种去除抗蚀剂材料的方法，该方法包括：
将压敏粘结剂片粘附到抗蚀剂材料上表面，抗蚀剂材料存在于物件上；以及
同时脱离压敏粘结剂片和抗蚀剂材料，以从物件上去除抗蚀剂材料；
其中，在脱离时，抗蚀剂材料具有0.5MPa或更高的杨氏模量。
2.一种去除抗蚀剂材料的方法，该方法包括：
将压敏粘结剂片粘附到抗蚀剂材料上表面，抗蚀剂材料存在于物件上；以及
同时脱离压敏粘结剂片和抗蚀剂材料，以从物件上去除抗蚀剂材料；
其中，在脱离时，抗蚀剂材料具有0.5MPa或更高的断裂拉伸强度。
3.一种去除抗蚀剂材料的方法，该方法包括：
将压敏粘结剂片粘附到抗蚀剂材料上表面，抗蚀剂材料存在于物件上；以及
同时脱离压敏粘结剂片和抗蚀剂材料，以从物件上去除抗蚀剂材料；
其中，在脱离时，抗蚀剂材料具有30％或更高的断裂拉伸伸长率。
4.如权利要求1至3中任一项所述的去除抗蚀剂材料的方法，其特征在于，抗蚀剂材料具有橡胶弹性。
5.如权利要求1至3中任一项所述的去除抗蚀剂材料的方法，其特征在于，抗蚀剂材料含有橡胶性成分。
6.如权利要求1至3中任一项所述的去除抗蚀剂材料的方法，其特征在于，抗蚀剂材料含有氨基甲酸乙酯成分。
7.如权利要求1至3中任一项所述的去除抗蚀剂材料的方法，其特征在于，抗蚀剂材料含有环状橡胶和双氮化物中的至少一种。
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