[发明专利]用于加热衬底的方法

权利要求书

1.一种用于加热衬底的方法，其中

a)要被涂覆的衬底的要被涂覆的表面被放置在加热装置上，所述加热装置用玻璃陶瓷板盖住，并具有和所述衬底匹配的槽，

b)所述衬底从下方被加热到进行涂覆所需的处理温度，以及

c)所述衬底从加热装置上被除去，并被引入涂覆室内进行涂覆。

2.如权利要求1所述的方法，其中在玻璃陶瓷板中的槽具有衬底保持器。

3.如权利要求1或2所述的方法，其中所述玻璃陶瓷板包括至少两个板，它们被宽松地相互叠置，所述两个板具有不同的开口。

4.如权利要求1至3至少一个所述的方法，其中在加热装置的内部区域内的温度范围是从500℃到800℃

5.如权利要求1至4至少一个所述的方法，其中所述衬底被涂覆至少一层。

6.如权利要求1至5至少一个所述的方法，其中所述涂覆包括以下处理中的至少一个：CVD(化学蒸汽淀积)，PVD(物理蒸汽淀积)，PECVD(等离子体增强的化学蒸汽淀积)，PICVD(等离子体脉冲化学蒸汽淀积)，LPCVD(低压化学蒸汽淀积)或TCVD(热化学蒸汽淀积)。

7.一种用于加热衬底的装置，其中所述加热装置被玻璃陶瓷板覆盖，并具有和所述衬底匹配的槽。

8.如权利要求7所述的装置，其中在玻璃陶瓷板中的槽具有衬底保持器。

9.如权利要求7或8所述的装置，其中所述加热装置包括至少两个板，它们被宽松地相互叠置，并且所述两个板具有不同的开口。

10.如权利要求7至9至少一个所述的装置，其中所述热辐射器是红外高温辐射器。

11.一种用于加热衬底的装置的用途，所述衬底在加热之后被涂覆。

12.一种用于加热玻璃衬底的装置的用途。