[发明专利]制作图像形成装置的方法

说明书

发明背景

发明领域

本发明涉及一种制作一种诸如显示装置之类的图像形成装置的方法，通过配置许多电子发射装置可获得一电子源，再利用这种电子源构成这种图像形成装置。

相关技术领域

传统上公知的表面导电电子发射装置是一种电子发射装置。

在例如日本专利公开平8-321254中，公开了一种表面导电电子发射装置的结构和制作方法。

图13A和13B简要表示所公开的诸如此类的普通表面导电电子发射装置的结构。图13A和13B分别是一平面示意图和一截面示意图，表示所公开的诸如此类的电子发射装置。

在图13A和13B中，该电子发射装置由一基底或衬底1、一对面对的电极2和3、导电膜4、一第二间距5、碳膜6以及一第一间距7组成。

图14A至14D简要表示具有图13A和13B所示结构的电子发射装置的制作过程的一实例。

在衬底1上制作一对电极2和3(图14A)。

制作用于连接电极2和3的导电膜4(图14B)。

进行如下“制作步骤”，即在电极2和3之间导通电流，在部分导电膜4中制成一第二间距5(图14C)。

进行如下“激活步骤”，制成一种电子发射装置(图14D)，即向处于碳化合物气氛中的电极2和3之间施加电压，并在第二间距5中的衬底1上和相邻的导电膜4上形成碳膜6(图14D)。

日本专利公开平9-237571公开了另一种制作一表面导电电子发射装置的方法。

利用上述制作方法和包括磷光剂等的图像形成部件可制成电子发射装置，把由多个这样的电子发射装置制成的电子源组合在一起，就可制作成一种图像形成装置，比如平板式显示面板。

发明概述

上述现有的装置除了“制作步骤”之外，还要经过“激活步骤”。由碳或碳化合物制成的碳膜6设有很狭窄的第一间距7，该碳膜设置在通过“制作步骤”制成的第二间距5中。这样可提供良好的电子发射特性。

利用现有电子发射装置制作图像形成装置遇到了下列问题。

这种方法有许多附加步骤，例如“制作步骤”和“激活步骤”中的重复触发步骤、以及每一步骤中形成适当的氛围的步骤。处理这些步骤限复杂。

为了使用用于一诸如显示器的图像形成装置的电子发射装置，更需要改进电子发射特性，以便降低装置的能量消耗。

进一步地，需要以较低的成本使用电子发射装置制作图像形成装置。

所提出的本发明可克服现有技术中的缺陷，而且其目的就是提供一种图像形成装置的制作方法，能够特别地简化电子发射装置的制作过程，还可以提高电子发射特性。

通过大量的研究，提出了本发明，可以解决上述问题，并提出了下列处理方法。

更特别地，本发明提供一种制作一图像形成装置的方法，该图像形成装置设有一其上排列有多个电子发射装置的第一基底，每一电子发射装置都具有一成对电极和一导电膜；以及一其上排列有一图像形成部件的第二衬底；包括如下步骤：

制备第一衬底；

在第一衬底上形成多个电极对，每一电极对包括相反的电极；

排列聚合物膜，每一聚合物膜都跨过每一电极对中的相反的电极；

利用光线或颗粒束照射每一聚合物膜，以降低每一聚合物膜的电阻、并把每一聚合物膜中的至少一对聚合物膜改变成导电膜；

通过导电膜，在每一电极对中的相反的电极之间导通电流，以在导电膜中形成一间距；

在低压气氛中，通过一粘合部件把其上排列有电子发射装置的第一衬底和其上排列有图像形成部件的第二衬底粘结起来。

作为一种最佳制作方法，本发明所述的图像形成装置的制作方法包括：

“导电膜包括作为其主要成分的碳”

“颗粒束包括一电子束或者一离子束”

“电子束的加速电压为0.5千伏(包括0.5千伏在内)至10千伏(包括10千伏在内)”

“电子束的电流密度为0.01毫安/平方毫米(包括0.01毫安/平方毫米在内)至1毫安/毫米²(包括1毫安/毫米²在内)”

“光线包括激光束”

“光线包括氙光线或卤素光线”

“该方法进一步包括：在粘合步骤之前，是在减压气氛中向第二衬底表面施加吸气剂的步骤”

“使用喷墨方法设置聚合物膜的步骤”

“聚合物膜是由从下列一组材料中选择的一种材料制成的：芳香族聚酰亚胺、聚亚苯基噁二唑以及聚亚苯基1，2-亚乙烯基”。