[发明专利]集成电路封装及其制作工艺有效

专利信息
申请号: 02120367.9 申请日: 2002-05-23
公开(公告)号: CN1381889A 公开(公告)日: 2002-11-27
发明(设计)人: 陈国祚;宫振越 申请(专利权)人: 威盛电子股份有限公司
主分类号: H01L23/50 分类号: H01L23/50;H01L23/28;H01L23/12;H01L21/50;H01L21/98
代理公司: 北京集佳专利商标事务所 代理人: 王学强
地址: 台湾省台北县*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 集成电路 封装 及其 制作 工艺
【说明书】:

技术领域

发明是有关于一种集成电路(Integrated Circuit,IC)封装及其制作工艺,且特别是有关于一种以增层电路(Build-Up Circuit)取代公知的基板(Substrate)的集成电路封装及其制作工艺。

背景技术

近年来,随着电子技术的日新月异,高科技电子产业的相继问世,使得更人性化、功能更佳的电子产品不断地推陈出新。然而各种产品无不朝向轻、薄、短、小的趋势设计,以提供更便利的使用。电子产品的制造一直到完成,集成电路(IC)封装扮演着相当重要的角色,而集成电路(IC)封装的型态有多种,比如是双边引脚封装(DualIn-line Package,DIP)的形式、球格数组(Ball Grid Array,BGA)的封装形式、贴带自动接合(Tape Automatic Bonding)封装形式等,每种封装形式均具有其特殊性。

球格数组式(Ball Grid Array,BGA)封装利用焊球(Solder Ball)布满整个基板(Substrate)的底面积的方式,来取代传统的金属导线架(Lead frame)的引脚。其以打线(Wire Bonding)或覆晶(Flip Chip)的方式,将芯片的接点连接至基板上的接点,并利用基板的内部绕线将接点分散至基板表面,再通过导孔(via)连接到基板底面,最后将焊球分别植接(Planting)基板底面的接点。由于球格数组式封装可利用整个基板的底面积作为接点的布置,故具有高脚数(High PinCount)的优势。此外,在回焊(Reflow)作业时,焊球熔解后的表面张力可产生自我校准(Self Alignment)的现象,故焊球的对位精度要求不高,再加上接合强度好、优良的电气特性,使得球格数组式封装成为目前集成电路(IC)封装的主流之一。

请参考图1,其为公知的一种球格数组式封装的剖面图。球格数组式封装100将芯片200的背面贴附于基板110之上,并以打线(WireBonding)方式所形成的导线120,使得芯片200的焊垫(die pad)202与基板110的接点112相电性连接,接着以封装材料130包覆芯片200、导线120及接点112,再分别将焊球(solder ball)140植接于基板110的焊球垫114上,使得芯片200可依序透过导线120、基板110的内部线路116及焊球140,而与外界电路相电性连接。

另请参考图2,其为公知的另一种球格数组式封装的剖面图。与图1不同的是,球格数组式封装101利用覆晶(Flip Chip,F/C)的方式,先分别在芯片200的焊垫202上形成凸块(bump)204,并以凸块204直接接合于基板110的接点112,使得芯片200可依序透过凸块204、基板110的内部线路116及焊球140,而与外界电路相电性连接。

然而,公知的球格数组式封装中,若利用导线(wire)来连接芯片的焊垫至基板的接点,由于导线的电性阻抗(impedance)较高,将造成信号的时间延迟(time delay of signals)而降低芯片的性能(performance)。此外,若以覆晶的方式来连接芯片的焊垫至基板的接点,则必须额外在芯片的焊垫上形成凸块,并与基板的接点精确对位后相接合,如此将增加制作工艺步骤,而提高制造成本。

另外,在球格数组式封装中,由于欲封装的芯片均属于高脚数的芯片,因此无论是利用打线的方式,或是以覆晶的方式来电性连接芯片焊垫与基板的接点,均须使用具有微间距(Fine Pitch)接点的基板,才能符合高脚数芯片的要求。传统印刷电路板(Printed Circuit Board,PCB)的线宽(trace width)约为100微米,而接点与接点的间距(pitch)约为800~1200微米之间,然而,球格数组式封装所使用的微间距接点的基板,其线宽约为30微米,而焊垫与焊垫的间距约为150微米。因此与传统印刷电路板相较之下,此类微间距接点的基板制造成本较高,约略占球格数组式封装制造成本的至少二成以上,而适用于覆晶的封装基板其制造成本则更加昂贵。

发明内容

本发明的目的在于提供一种集成电路封装及其制作工艺,其可省略公知的基板及其与芯片之间的连接制作工艺,例如打线或覆晶制作工艺,同时符合原先应用于基板的接点间距,故可降低集成电路的封装成本,并可大幅提升芯片的运作效能,以及加速封装结构的散热速率。此外,在没有覆晶凸块的局限之下,芯片的运作效能将更容易提升。

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