[发明专利]钟摆式数字曝光法无效
| 申请号： | 02120823.9 | 申请日： | 2002-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN1466016A | 公开（公告）日： | 2004-01-07 |
| 发明（设计）人： | 仇伟军;路友谊 | 申请（专利权）人： | 仇伟军;路友谊 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300203天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钟摆 数字 曝光 | ||
【权利要求书】：
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