[发明专利]双频共焦台阶高度显微测量装置无效
| 申请号： | 02120884.0 | 申请日： | 2002-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1384334A | 公开（公告）日： | 2002-12-11 |
| 发明（设计）人： | 殷纯永;林德教;柳忠尧;张蕊;徐毅 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华专利事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双频 台阶 高度 显微 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种双频共焦台阶高度显微测量装置，其特征在于，包括横向塞曼激光器，依次放置在该激光器发射端轴线上的第一块分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、第一针孔、胶合透镜和偏振分光镜；放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波片和四面体棱镜，放置在该偏振分光镜透射光路上的1/4波片、显微物镜；还包括设置在该偏振分光镜的合光光路上的第二块分光镜，分别放置在该第二块分光镜的反射光路上的格兰棱镜、会聚透镜、第二针孔和光电探测器，在该第二块分光镜的透射光路上的会聚透镜和光电探测器。
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