[发明专利]表面声波滤波器、平衡型滤波器和通信器件

说明书

技术领域

本发明涉及表面声波滤波器，平衡型滤波器和通讯器件。

背景技术

机电功能型部件常常使用表面声波(SAW)，表面声波的波声速可达到每秒几公里并且具有诸如波的能量集中于传输介质表面的的特性。随着硬件普遍趋向于增加密度，采用表面声波的机电功能型部件也已经得到了关注，并且已经在与叉指式换能器电极(IDT电极)的发展以及薄膜制作技术和表面处理技术的进步密切相关的雷达的延迟线和电视图像接收机的带通滤波器中得到了实际应用，现在已广泛地作为通讯装置的发射一接受电路中的RF和IF级滤波器。

近几年来，为了提高器件抗噪声的性能，促使诸如IC这样的半导体部件的平衡设计，在表面声波滤波器应用于RF级时也要求采用平衡设计。另外，近几年来，由于IC器件常常置于表面声波滤波器的前级和级后以及其它等等，因此也要求表面声波滤波器应该具有非平衡-平衡型端口或平衡-平衡型端口。此外，纵向模式的表面声波滤波器也已经广泛地应用于RF级滤波器。对这类表面声波滤波器来说，平衡是一个重要的参数。

(A)首先将参考图12和图13来讨论具有非平衡-平衡型输入/输出端口的常规纵向模式的表面声波滤波器。

图12显示了具有非平衡-平衡型输入/输出端口的常规纵向模式的表面声波滤波器的结构。在图12中，表面声波滤波器由制作在压电基片1001上的第一，第二和第三IDT电极1002，1003，和1004，以及第一和第二反射器电极1005和1006组成。第一IDT电极1002的上部电极指与一个平衡型端口1007相连，而第一IDT电极1002的下部电极指与另一个平衡型端口1008相连。此外，在同一侧的IDT电极1003和1004的电极指与一个非平衡型端口1009相连，而另一侧的电极指接地。上述的结构有可能获得具有非平衡-平衡型端口的表面声波滤波器。

图13显示了具有非平衡-平衡型输入/输出端口的常规纵向模式的表面声波滤波器结构的另一个例子。在图13中，表面声波滤波器由在压电基片1001上的第一，第二和第三IDT电极1002，1003，和1004，以及第一和第二反射器电极1005和1006组成。第一IDT电极1002的上部电极指与一个平衡型端口1007相连，而下部电极指与另一个平衡型端口1008相连。此外，在同一侧的IDT电极1003和1004的电极指与一个平衡型端口1010相连，而在另一侧的IDT电极1003和1004的电极指与一个平衡型端口1011相连。上述的结构有可能获得具有平衡-平衡型端口的表面声波滤波器。

(B)现在参考图27来讨论具有非平衡-平衡型输入/输出端口的常规纵向模式的表面声波滤波器。

图27显示了具有非平衡-平衡型输入/输出端口的常规纵向模式的表面声波滤波器的图解结构。在图27中，表面声波滤波器由分别设置在压电基片上的第一级滤波器组6和第二级滤波器组12组成。

第一级滤波器组6包括第一，第二和第三IDT电极1，2，和3，以及第一和第二反射器电极4和5。同样，第二级滤波器组12包括第四，第五和第六IDT电极7，8，和9以及第三和第四反射器电极10和11。

第二和第三IDT电极2和3设置在第一IDT电极1的两侧，并且在该结构的两侧设置了第一和第二反射器电极4和5。同样，第五和第六IDT电极8和9设置在第四IDT电极7的两侧，并且在该结构的两侧又设置了第三和第四反射器电极10和11。

第一IDT电极1包括设置在第二级滤波器组12对面一侧的上部电极1a和设置在在第二级滤波器组12一侧的下部电极1b。

第二IDT电极2包括设置在第二级滤波器组12对面一侧的上部电极2a和设置在在第二级滤波器组12一侧的下部电极2b。

第三IDT电极3包括设置在第二级滤波器组12对面一侧的上部电极3a和设置在在第二级滤波器组12一侧的下部电极3b。

第四IDT电极7包括设置在第一级滤波器组6一侧的上部电极7a和设置在在第一级滤波器组6对面一侧的下部电极7b。

第五IDT电极8包括设置在第一级滤波器组6一侧的上部电极8a和设置在在第一级滤波器组6对面一侧的下部电极8b。

第六IDT电极9包括设置在第一级滤波器组6一侧的上部电极9a和设置在在第一级滤波器组6对面一侧的下部电极9b。

这样，每个IDT电极都由一对称之为上部和下部电极的梳状电极组成。

此外，第一IDT电极1的上部电极1a与设置在第二级滤波器组12对面一侧的第一级滤波器6的输入非平衡型端口IN相连，而第一IDT电极1的下部电极1b接地。