[发明专利]用于低压微型器件微型壳体的微离子泵

权利要求书

1、一种包含在低压微型壳体内的微离子泵(308、310、316、318)，该微离子泵包括：

第一电荷板(308)；

与第一电荷板隔开一段距离的第二电荷板(310)；和

耦连到第一电荷板和第二电荷板的电路(316、318)，在第一电荷板和第二电荷板之间建立电压电位差，该电压电位差感应电场，低压微电子器件内的气体分子与在电场中加速的电子碰撞，产生在与电子相反的方向加速的离子，以便离子被吸收到第一和第二电荷板的更负的一个上。

2、权利要求1的微离子泵(308、310、316、318)，其中第一电荷板(308)是用包括金属层淀积技术的公知微型芯片制造技术在低压微型壳体(306)的内表面上制造的，第二电荷板(310)是利用公知微型芯片制造技术在安装在低压微型壳体(306)内的微电子器件(302)的表面上制造的。

3、权利要求3的微离子泵(308、310、316、318)，其中第一电荷板(308)和第二电荷板(310)包括淀积在绝缘衬底上的金属层。

4、权利要求1的微离子泵(308、310、316、318)，其中金属层包括钛和钛合金中的一种。

5、权利要求1的微离子泵(308、310、316、318)，其中第一电荷板和第二电荷板中更负地带电的电荷板被制造成具有增加电荷板的表面面积的表面结构。

6、权利要求1的微离子泵(308、310、316、318)，其中微离子泵将低压微型壳体内的内部压力维持在10^-4乇以下。

7、权利要求1的微离子泵(308、310、316、318)，其中电路(316、318)包括检测由电离气体分子产生的离子感应电流的电流检测电路。

8、权利要求7的微离子泵(308、310、316、318)，其中被检测的离子感应电流与利用压力传感电路检测的低压微型壳体(306)内的所检测的内部压力有关，并且在报告器件中报告所检测到的内部压力，高检测内部压力调用警告系统。

9、一种将低压微型壳体(306)内保持为高真空的方法，该方法包括：

在低压微型壳体(306)内包括第一电荷板(308)和第二电荷板(310)，第二电荷板与第一电荷板在低压微电子器件微型壳体内隔开一段距离；

将电路耦连到第一电荷板和第二电荷板；和

经过电路在第一电荷板和第二电荷板之间施加电压电位差，该电压电位差感应电场，低压微电子器件内的气体分子与在电场中加速的电子碰撞，产生在与电子相反方向加速的离子，因此离子被吸收到第一和第二电荷板中更负的一个上。

10、权利要求9的方法，其中离子被吸收到第一(308)和第二电荷板(310)的更负一个上可使低压微型壳体(306)的内部压力维持在10^-4乇以下。