[发明专利]金属研磨液材料、金属研磨液、其制造方法及使用它的研磨方法有效
| 申请号： | 02123007.2 | 申请日： | 1999-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1392215A | 公开（公告）日： | 2003-01-22 |
| 发明（设计）人： | 内田刚;星野铁哉;寺崎裕树;上方康雄;小山直之;本间喜夫;近藤诚一 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京银龙专利代理有限公司 | 代理人： | 熊志诚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 研磨 材料 制造 方法 使用 | ||
【权利要求书】：
1.一种即使在0℃保存也不会析出固体的金属研磨液材料。
2.一种稀释10倍以上后作为金属研磨液使用的金属研磨液材料。
3.一种含有保护膜形成剂和有助于该保护膜形成剂在水中的溶解的溶解助剂的金属研磨液材料。
4.权利要求1或3记载的金属研磨液材料，其稀释10倍以上后作为金属研磨液使用。
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