[发明专利]编码器的滑动机构及其制造方法

权利要求书

1.一种编码器滑动机构，包括：

一具有预定的基准光栅的标尺；

一检测部分，它以一预定间隔对置于标尺安排并可相对标尺移动，用以检测其相对该标尺的移动距离和移动方向。

一滑动导轨，其沿检测部分的移动方向设置在标尺和检测部分中的一个上；以及

一滑动镀覆膜，其设置在检测部分和标尺中的另一个上，从而使滑动镀覆膜可与滑动导轨接触，当检测部分移动时，该滑动镀覆膜在滑动导轨上滑动；

其中，滑动导轨和滑动镀覆膜均是复合镀覆膜，在复合镀覆膜上通过无电复合镀覆工艺散布了自润滑物质。

2.如权利要求1所述编码器滑动机构，其中将滑动导轨制作在标尺上，滑动镀覆膜则制作在检测部分上。

3.如权利要求1所述编码器滑动机构，其中自润滑物质至少包括聚四氟乙烯树脂、炭化硅、氮化硼三者中的一种物质。

4.如权利要求2所述编码器滑动机构，其中滑动导轨包括两条带状滑动导轨，它们的制作可使基准光栅安置在它们之间。

5.如权利要求2所述编码器滑动机构，其中滑动膜包括三个滑动镀覆膜，它们的安排使得可由它们在三个位置支承检测部分。

6.如权利要求2所述编码器滑动机构，其中标尺在预定的基准光栅和滑动导轨之间有一保护膜。

7.一种制造编码器滑动机构的方法，该编码器具有一带预定的基准光栅的标尺，和一用于检测其相对于标尺的移动距离或移动方向的检测部分，该方法包括下列步骤：

在第一玻璃基片上制作预定的基准光栅；

制作第一复合镀覆层，在该复合镀覆层内在预定的基准光栅上，通过无电复合镀覆工艺散布一种自润滑物质于第一玻璃基片内；

通过用预定模式蚀刻第一复合镀覆层来制作标尺的第一滑动镀覆层。

制作一第二复合镀覆层，在该镀覆层内用无电复合镀覆工艺将一种自润滑物质散布在第二玻璃基片上；和

通过用预定模式蚀刻第二复合镀覆层来制作检测器的第二滑动镀覆层。

8.如权利要求7所述的一种制造编码器滑动机构的方法，其中将第一滑动镀覆层制作成两条带状滑动导轨，两条带状导轨的制作可将基准光栅安插在它们之间，第二滑动镀覆层制成三段滑动镀覆膜，该三段镀覆膜的安置可使检测部分由它们支承在三位置。

9.如权利要求7所述的一种制造编码器滑动机构的方法，其中还包括：在预定的基准光栅和第一滑动镀覆层之间制作保护膜。

10.如权利要求7所述的一种制造编码器滑动机构的方法，其中还包括：在第二玻璃基片和第二滑动镀覆层之间制作衍射光栅。