[发明专利]片状基板的移动装载装置及其贮存装置

权利要求书

1.一种片状基板的移动装载装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使插入到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，前述支撑部由在相对的支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件构成，同时，前述机械手由：在机械手的升降位置上、位于前述并列的支撑部件之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部；和位于前述相对的支撑部件之间、连结前述横向机械手支撑部的、长度方向的纵向机械手支撑部构成。

2.如权利要求1所述的片状基板的移动装载装置，其特征在于，前述机械手可以由：在机械手的升降位置上，能够通过前述并列的支撑部的间隙的、多个宽度方向的横向机械手支撑部；和在分别连结该横向机械手支撑部的宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对纵向机械手支撑部构成。

3.一种片状基板的移动装载装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使插入到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，在前述支撑部的中间位置上并列设置辅助支撑部，同时，前述机械手由：在机械手的升降位置上、位于前述并列的支撑部之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部；和在分别连结该横向机械手支撑部的宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对纵向机械手支撑部构成。

4.一种片状基板的移动装载装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使插入到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，在前述支撑部的中间位置上并列设置辅助支撑部，同时，前述机械手由在宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对宽幅的纵向机械手支撑部构成。

5.如权利要求2、3或4所述的片状基板的移动装载装置，其特征在于，在一对宽幅的纵向机械手支撑部之间并列设置辅助纵向机械手支撑部。

6.如权利要求1～5所述的片状基板的移动装载装置，其特征在于，在支撑部的上面设置直接支撑片状基板的缓冲部件。

7.一种贮存装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使插入到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，前述支撑部由在相对的支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件构成，同时，在相对的支撑部件之间，设置形成了长度方向的纵向机械手支撑部可以通过的间隙，所述长度方向的纵向机械手支撑部在机械手的升降位置上，与位于前述并列的支撑部件之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部连结。

8.如权利要求7记载的贮存装置，其特征在于，将前述支撑部形成相同形状，并在贮存装置的内部形成上下多个、呈阶梯形状。

9.如权利要求7或8记载的贮存装置，其特征在于，在从贮存装置的两侧向相对方向延伸设置的支撑部中央位置上并列设置辅助支撑部。

10.如权利要求7、8或9记载的贮存装置，其特征在于，在支撑部的上面，设置直接支撑片状基板的缓冲部件。